보이스 코일 모터는 영구자석이 생성하는 자기장에 코일을 배치하고, 코일에 전류가 흐르면서 추력 발생으로 구동하는 원리로 짧은 Stroke와 우수한 응답성을 갖춰진 Compact한 설계의 고정밀도 스테이지.
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VCM(보이스코일모터)
VLM Series
| VLM-L5 | |||
| Stroke | Encoder resolution | Repeatability | Maximum speed |
| ±8mm(Total : 16mm) | 0.1um | < ±1um | 1m/s |
| Constant Force | Max Force | Continuous current | Peak current |
| 5.7Ｎ/Ａ | 14N | 1A | 2.5A |
| Resistance | Inductance | Weight | Thermal sensor |
| 7.5Ω | 2.5mH @ 1Khz | 425g | NTC |
| VLM-CR12 | |||
| Stroke | Encoder resolution | Repeatability | Straightness |
| ±7.5mm(Total : 15mm) | 0.1um | < ±1um | ＜±5um |
| Flatness | Rated Force | Rated Current | Peak Current |
| ＜±5um | 12N | 2A | 1A |
| Resistance | Inductance | Body Weight | |
| 7.5Ω | 2.507mH | 1.2kg | |
THVM Series
| THVM30-08E01 | |||
| Stroke | Force sensitivity (at mid stroke) | Peak force | Resistance |
| 8mm | 4N/1A | 12N | 5Ω |
| Inductance | Recommended bus voltage | Peak current | Clearance of coil |
| 1.5mH | 24.0V | 3A | 0.25mm |
| THVM40-20 ③ | |||
| stroke | thrust | Maximum thrust | maximum current |
| 20mm | 6N / A | 24N | 4A |
| Sensor | |||
| position sensor (encoder 설치 가능) 온도 센서 내장 | |||